真(zhen)(zhen)空(kong)燒(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)(lu)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)上(shang)要(yao)(yao)(yao)滿(man)足哪些要(yao)(yao)(yao)求(qiu)(qiu)呢 　　真(zhen)(zhen)空(kong)燒(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)(lu)是(shi)指使粉(fen)末壓(ya)(ya)坯通過(guo)燒(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)獲得所需的(de)(de)(de)物理、力學性(xing)能(neng)以(yi)(yi)(yi)及(ji)微觀結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)的(de)(de)(de)專用設(she)備。燒(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)(lu)用于(yu)烘(hong)干(gan)硅片上(shang)的(de)(de)(de)漿(jiang)料、去(qu)除漿(jiang)料中(zhong)的(de)(de)(de)有機成(cheng)分、完成(cheng)鋁背場(chang)及(ji)柵線燒(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)。為(wei)了保(bao)(bao)證粉(fen)末壓(ya)(ya)坯在(zai)(zai)燒(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)過(guo)程中(zhong)的(de)(de)(de)脫(tuo)蠟(潤滑(hua)劑或成(cheng)形劑)、還原、合金化(hua)、組織轉變(bian)等(deng)(deng)順利進行，燒(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)時(shi)(shi)需要(yao)(yao)(yao)對燒(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)溫(wen)(wen)度(du)(du)、保(bao)(bao)護氣(qi)(qi)(qi)氛(fen)(fen)(fen)、壓(ya)(ya)坯傳送方式、加熱(re)(re)和(he)(he)冷(leng)卻(que)(que)速度(du)(du)等(deng)(deng)進行精確的(de)(de)(de)控(kong)制(zhi)。 　　因此，真(zhen)(zhen)空(kong)燒(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)(lu)在(zai)(zai)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)上(shang)應(ying)(ying)(ying)滿(man)足以(yi)(yi)(yi)下要(yao)(yao)(yao)求(qiu)(qiu)： 　　(1)具有完善(shan)的(de)(de)(de)潤滑(hua)劑燒(shao)(shao)除裝置(zhi)(俗稱脫(tuo)蠟帶)。 　　(2)具有氣(qi)(qi)(qi)密性(xing)，即能(neng)隔絕爐(lu)(lu)(lu)外空(kong)氣(qi)(qi)(qi)并保(bao)(bao)證爐(lu)(lu)(lu)內保(bao)(bao)護氣(qi)(qi)(qi)氛(fen)(fen)(fen)暢通。 　　(3)爐(lu)(lu)(lu)內的(de)(de)(de)各段(duan)溫(wen)(wen)度(du)(du)可(ke)控(kong)，燒(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)氣(qi)(qi)(qi)氛(fen)(fen)(fen)可(ke)調。 　　(4)具有快速冷(leng)卻(que)(que)裝置(zhi)，可(ke)將燒(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)零件快速冷(leng)卻(que)(que)到(dao)出爐(lu)(lu)(lu)溫(wen)(wen)度(du)(du)而(er)不(bu)(bu)會(hui)氧化(hua)。 　　真(zhen)(zhen)空(kong)燒(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)(lu)使用的(de)(de)(de)注意事項(xiang) 　　(1)當使用氫氣(qi)(qi)(qi)或分解氨時(shi)(shi)，要(yao)(yao)(yao)先通入(ru)氮氣(qi)(qi)(qi)，在(zai)(zai)確保(bao)(bao)爐(lu)(lu)(lu)中(zhong)的(de)(de)(de)空(kong)氣(qi)(qi)(qi)完全(quan)被排(pai)出時(shi)(shi)，才能(neng)通電(dian)(dian)(dian)升(sheng)溫(wen)(wen)，以(yi)(yi)(yi)防止(zhi)(zhi)打鳴(ming)和(he)(he)爆(bao)炸(zha)。 　　(2)對鉬絲(si)作加熱(re)(re)元(yuan)件的(de)(de)(de)燒(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)(lu)，在(zai)(zai)通電(dian)(dian)(dian)前爐(lu)(lu)(lu)體中(zhong)應(ying)(ying)(ying)通入(ru)保(bao)(bao)護氣(qi)(qi)(qi)體，以(yi)(yi)(yi)防止(zhi)(zhi)鉬絲(si)氧化(hua)而(er)脆斷(duan)。 　　(3)真(zhen)(zhen)空(kong)燒(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)(lu)爐(lu)(lu)(lu)門及(ji)氣(qi)(qi)(qi)體排(pai)出口(kou)應(ying)(ying)(ying)點(dian)明火燒(shao)(shao)除，以(yi)(yi)(yi)防止(zhi)(zhi)氧氣(qi)(qi)(qi)進入(ru)或氫氣(qi)(qi)(qi)排(pai)出而(er)發(fa)生爆(bao)炸(zha)危險和(he)(he)煤氣(qi)(qi)(qi)中(zhong)毒危險。 　　(4)若電(dian)(dian)(dian)熱(re)(re)元(yuan)件為(wei)鐵鉻鋁電(dian)(dian)(dian)阻(zu)絲(si)，在(zai)(zai)升(sheng)溫(wen)(wen)至1100℃時(shi)(shi)應(ying)(ying)(ying)停(ting)留一段(duan)時(shi)(shi)間(30min左右)再(zai)升(sheng)溫(wen)(wen)，以(yi)(yi)(yi)防止(zhi)(zhi)電(dian)(dian)(dian)阻(zu)絲(si)表(biao)面溫(wen)(wen)度(du)(du)過(guo)高而(er)損壞。 　　(5)在(zai)(zai)升(sheng)溫(wen)(wen)前和(he)(he)操作中(zhong)應(ying)(ying)(ying)不(bu)(bu)時(shi)(shi)檢(jian)查氣(qi)(qi)(qi)流、水(shui)流是(shi)否符合要(yao)(yao)(yao)求(qiu)(qiu)，以(yi)(yi)(yi)及(ji)檢(jian)查設(she)備、電(dian)(dian)(dian)和(he)(he)爐(lu)(lu)(lu)溫(wen)(wen)的(de)(de)(de)控(kong)制(zhi)儀表(biao)是(shi)否正常。 　　(6)停(ting)爐(lu)(lu)(lu)前應(ying)(ying)(ying)先斷(duan)電(dian)(dian)(dian)，在(zai)(zai)爐(lu)(lu)(lu)溫(wen)(wen)降到(dao)200℃以(yi)(yi)(yi)下時(shi)(shi)再(zai)停(ting)氣(qi)(qi)(qi)和(he)(he)停(ting)水(shui)。 　　(7)除了因維修要(yao)(yao)(yao)停(ting)真(zhen)(zhen)空(kong)燒(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)(lu)爐(lu)(lu)(lu)外，要(yao)(yao)(yao)避免頻(pin)繁停(ting)爐(lu)(lu)(lu)。燒(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)頻(pin)繁開停(ting)，會(hui)造成(cheng)加熱(re)(re)元(yuan)件易(yi)(yi)于(yu)老化(hua)，耐火材(cai)料易(yi)(yi)于(yu)碎裂，爐(lu)(lu)(lu)內氣(qi)(qi)(qi)氛(fen)(fen)(fen)不(bu)(bu)純(chun)，爐(lu)(lu)(lu)溫(wen)(wen)容(rong)易(yi)(yi)波動等(deng)(deng)弊端(duan)。

　　真(zhen)(zhen)(zhen)空燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)操(cao)作(zuo)(zuo)注(zhu)(zhu)意事項(xiang)有哪(na)些　　1.安(an)全(quan)操(cao)作(zuo)(zuo)：在操(cao)作(zuo)(zuo)時(shi)應(ying)注(zhu)(zhu)意安(an)全(quan)，避(bi)免發生意外事故(gu)。操(cao)作(zuo)(zuo)前應(ying)仔細閱讀燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)使用(yong)說(shuo)明書，了解其(qi)(qi)性(xing)(xing)能(neng)和(he)操(cao)作(zuo)(zuo)方(fang)法(fa)。操(cao)作(zuo)(zuo)時(shi)應(ying)穿戴防護用(yong)品(pin)，如手套、口(kou)罩(zhao)等。　　2.燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)內(nei)部(bu)干燥(zao)：燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)內(nei)部(bu)應(ying)保(bao)(bao)持干燥(zao)，避(bi)免水分和(he)其(qi)(qi)他雜質進入燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)內(nei)。這可以避(bi)免燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)過(guo)(guo)(guo)程中產生氣泡和(he)其(qi)(qi)他不良影(ying)響。　　3.避(bi)免堆積(ji)過(guo)(guo)(guo)高：在將(jiang)待(dai)加(jia)工的(de)(de)(de)(de)(de)(de)原料(liao)放入燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)內(nei)時(shi)，注(zhu)(zhu)意避(bi)免原料(liao)溢出(chu)(chu)或堆積(ji)過(guo)(guo)(guo)高。否(fou)則(ze)會(hui)影(ying)響燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)質量(liang)，甚至導致(zhi)燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)內(nei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)故(gu)障(zhang)。　　4.熱(re)處(chu)(chu)理(li)程序(xu)(xu)：在燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)過(guo)(guo)(guo)程中，注(zhu)(zhu)意燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)溫(wen)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)變化，及(ji)時(shi)調整加(jia)熱(re)功率，以保(bao)(bao)證(zheng)燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)溫(wen)度(du)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)穩(wen)定(ding)性(xing)(xing)。熱(re)處(chu)(chu)理(li)程序(xu)(xu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)設置(zhi)應(ying)嚴(yan)格(ge)按照燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)說(shuo)明書進行。　　5.真(zhen)(zhen)(zhen)空泵的(de)(de)(de)(de)(de)(de)使用(yong)：在使用(yong)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵時(shi)，應(ying)注(zhu)(zhu)意其(qi)(qi)使用(yong)方(fang)法(fa)和(he)維護。在使用(yong)后，應(ying)及(ji)時(shi)清理(li)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵內(nei)部(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)殘留(liu)(liu)物，以保(bao)(bao)持其(qi)(qi)正常運(yun)(yun)轉(zhuan)。同時(shi)，要注(zhu)(zhu)意真(zhen)(zhen)(zhen)空泵的(de)(de)(de)(de)(de)(de)使用(yong)壽命(ming)和(he)更換周期。　　6.燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)后的(de)(de)(de)(de)(de)(de)處(chu)(chu)理(li)：在燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)完成后，應(ying)關(guan)(guan)閉(bi)(bi)熱(re)處(chu)(chu)理(li)程序(xu)(xu)和(he)加(jia)熱(re)開關(guan)(guan)，打開燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)門，將(jiang)燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)好的(de)(de)(de)(de)(de)(de)樣品(pin)取出(chu)(chu)。關(guan)(guan)閉(bi)(bi)燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)門，打開真(zhen)(zhen)(zhen)空泵的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)源開關(guan)(guan)，啟動(dong)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵，將(jiang)燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)內(nei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)氣體抽(chou)出(chu)(chu)，直至達到所需(xu)真(zhen)(zhen)(zhen)空度(du)。關(guan)(guan)閉(bi)(bi)真(zhen)(zhen)(zhen)空泵的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)源開關(guan)(guan)，關(guan)(guan)閉(bi)(bi)燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)源開關(guan)(guan)，拔出(chu)(chu)電(dian)源插(cha)頭，清理(li)燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)內(nei)部(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)殘留(liu)(liu)物，將(jiang)燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)存放在干燥(zao)通風的(de)(de)(de)(de)(de)(de)地方(fang)。　　7.維護保(bao)(bao)養：定(ding)期對燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)進行維護和(he)保(bao)(bao)養，清理(li)燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)內(nei)部(bu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)殘留(liu)(liu)物和(he)雜質，檢查各個(ge)部(bu)件(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)運(yun)(yun)轉(zhuan)情況，保(bao)(bao)證(zheng)燒(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)(shao)結(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)正常運(yun)(yun)轉(zhuan)和(he)使用(yong)壽命(ming)。