氣相沉積爐設備組成
氣相沉積爐整體結(jie)構(gou)(gou)采用(yong)井式碳化爐結(jie)構(gou)(gou)。主(zhu)要由爐體系(xi)統、控(kong)制系(xi)統、真空系(xi)統、冷卻系(xi)統、進氣系(xi)統、過濾(lv)系(xi)統、操作(zuo)平臺等部分組(zu)成(cheng)組(zu)成(cheng)。
氣相沉積爐(lu)(lu)(lu)系統(tong)主要由爐(lu)(lu)(lu)蓋(gai)(gai)、爐(lu)(lu)(lu)體(ti)、爐(lu)(lu)(lu)底、保溫層、發(fa)熱體(ti)、引電(dian)體(ti)組成,爐(lu)(lu)(lu)殼為(wei)圓柱形結構,分爐(lu)(lu)(lu)體(ti)和爐(lu)(lu)(lu)頂蓋(gai)(gai)、爐(lu)(lu)(lu)底三部分,主要使用Q235鋼(gang)材,爐(lu)(lu)(lu)體(ti)、爐(lu)(lu)(lu)蓋(gai)(gai)、爐(lu)(lu)(lu)底均為(wei)夾(jia)層水冷結構,夾(jia)層內(nei)設置蛇(she)形導(dao)(dao)流板,既可(ke)以(yi)(yi)引導(dao)(dao)水流流向又可(ke)以(yi)(yi)加(jia)強爐(lu)(lu)(lu)體(ti)壁抗壓能(neng)力,爐(lu)(lu)(lu)體(ti)上設置電(dian)極座、測溫座。抽氣口位于爐(lu)(lu)(lu)頂蓋(gai)(gai)或爐(lu)(lu)(lu)體(ti)側壁上。
加(jia)熱及保溫層,發熱體(ti)采(cai)用(yong)帶式合(he)金(jin)發熱體(ti),分三(san)(san)個(ge)加(jia)熱區(qu),三(san)(san)角形加(jia)熱,分布在爐(lu)(lu)腔(qiang)四周;保溫層:采(cai)用(yong)全纖(xian)維爐(lu)(lu)襯(chen)復合(he)保溫結(jie)構,既可(ke)以讓爐(lu)(lu)膛整潔成型(xing)又可(ke)以保持良好(hao)的(de)保溫性(xing)能,成型(xing)后的(de)保溫層分別固定在爐(lu)(lu)壁、爐(lu)(lu)蓋(gai)上,操作與維護非常(chang)方便。
氣相沉積(ji)爐(lu)的爐(lu)膽采用高溫耐熱鋼,為保證高溫真(zhen)空下的工(gong)作強度,采用雙(shuang)真(zhen)空結構。爐(lu)膽內(nei)外同時抽真(zhen)空,并設置手動及自動壓差(cha)閥。考慮真(zhen)空放電現象,采用低電壓大電流的供電方式。
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