氣相沉積爐計算機控制系統使用說明
氣相沉積爐計算(suan)機控制(zhi)系統要如何使用呢(ni)?今天(tian),洛陽八佳電(dian)氣(qi)科(ke)技股(gu)份有限公(gong)司就(jiu)來跟(gen)大家(jia)簡單(dan)的說(shuo)一說(shuo)使用方(fang)法及注意(yi)事項。
首先,氣相沉積爐主體(ti)內(nei)有加熱室(shi),水(shui)冷電(dian)極,測(ce)溫(wen)熱電(dian)偶,這(zhe)(zhe)些(xie)都是(shi)處理工(gong)件的(de)核心(xin)的(de)部(bu)分(fen)。而(er)為混(hun)氣罐,由1只電(dian)動(dong)蝶閥、2只浮子流量計和4只不銹鋼手動(dong)截止閥這(zhe)(zhe)三部(bu)分(fen)七小塊(kuai)組成,負(fu)責氬氣和丙烷的(de)混(hun)氣配比,以及向沉積爐(lu)內(nei)定量輸送工(gong)作(zuo)氣體(ti)。
其次(ci),沉積爐還具有2臺滑閥泵,注意(yi)是負(fu)責氣(qi)(qi)(qi)相沉積爐內的(de)(de)(de)空(kong)氣(qi)(qi)(qi)及(ji)工(gong)作(zuo)廢氣(qi)(qi)(qi)的(de)(de)(de)排(pai)除等(deng),這使得爐子(zi)可以工(gong)作(zuo)在恒定(ding)的(de)(de)(de)壓力范(fan)圍之內。2臺過濾(lv)罐,主(zhu)要是負(fu)責滑閥泵前級(ji)的(de)(de)(de)粉塵(chen)排(pai)除。
另外,氣相沉積爐計(ji)算(suan)機控制系統(tong)還有3臺加熱磁性調(diao)壓器,他們獨立工作,完成爐溫的控制。
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