如(ru)何(he)(he)優(you)(you)(you)(you)化(hua)(hua)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)以(yi)提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)？　　氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)為微電子制造領域的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)重要設(she)(she)備(bei)(bei)，其(qi)操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)直(zhi)接影響(xiang)著生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產效(xiao)(xiao)益(yi)。因此，優(you)(you)(you)(you)化(hua)(hua)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)，提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)，成(cheng)為企(qi)業(ye)追求(qiu)(qiu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)重要目標。氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)廠家八(ba)佳電氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)將(jiang)從(cong)多個方(fang)面探討如(ru)何(he)(he)優(you)(you)(you)(you)化(hua)(hua)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)，以(yi)提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)升生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)。　　一(yi)、合(he)理設(she)(she)定(ding)(ding)工(gong)藝(yi)參數(shu)　　氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)工(gong)藝(yi)參數(shu)包括沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)溫度、壓(ya)力、氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)氛組成(cheng)等(deng)，這些參數(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)設(she)(she)定(ding)(ding)對(dui)薄(bo)膜的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)質(zhi)量和(he)(he)(he)(he)(he)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)速(su)率(lv)(lv)有(you)著重要影響(xiang)。為了優(you)(you)(you)(you)化(hua)(hua)操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)，首先需(xu)要根(gen)據(ju)所制備(bei)(bei)材料(liao)(liao)(liao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)特(te)性(xing)和(he)(he)(he)(he)(he)要求(qiu)(qiu)，合(he)理設(she)(she)定(ding)(ding)工(gong)藝(yi)參數(shu)。通(tong)(tong)(tong)過(guo)(guo)試驗(yan)和(he)(he)(he)(he)(he)數(shu)據(ju)分析(xi)，找出(chu)好的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)工(gong)藝(yi)參數(shu)組合(he)，以(yi)提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)速(su)率(lv)(lv)和(he)(he)(he)(he)(he)薄(bo)膜質(zhi)量，從(cong)而(er)提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)。　　二、優(you)(you)(you)(you)化(hua)(hua)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)體(ti)(ti)(ti)結(jie)構(gou)和(he)(he)(he)(he)(he)材料(liao)(liao)(liao)　　氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)體(ti)(ti)(ti)結(jie)構(gou)和(he)(he)(he)(he)(he)材料(liao)(liao)(liao)對(dui)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)溫度分布、氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)氛均勻性(xing)以(yi)及(ji)(ji)熱傳導效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)等(deng)有(you)著顯著影響(xiang)。因此，優(you)(you)(you)(you)化(hua)(hua)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)體(ti)(ti)(ti)結(jie)構(gou)和(he)(he)(he)(he)(he)材料(liao)(liao)(liao)是提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)關鍵措(cuo)施之一(yi)。可(ke)(ke)以(yi)通(tong)(tong)(tong)過(guo)(guo)改(gai)(gai)(gai)進(jin)(jin)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)體(ti)(ti)(ti)設(she)(she)計，提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)內(nei)溫度的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)均勻性(xing)和(he)(he)(he)(he)(he)穩(wen)定(ding)(ding)性(xing)；選(xuan)用(yong)(yong)高(gao)(gao)(gao)導熱性(xing)能(neng)(neng)(neng)(neng)(neng)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)材料(liao)(liao)(liao)，提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)體(ti)(ti)(ti)熱傳導效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)；優(you)(you)(you)(you)化(hua)(hua)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)體(ti)(ti)(ti)密(mi)封性(xing)能(neng)(neng)(neng)(neng)(neng)，減少氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)氛泄漏，提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)質(zhi)量。　　三、加強(qiang)設(she)(she)備(bei)(bei)維護和(he)(he)(he)(he)(he)保(bao)(bao)(bao)養　　氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)為精密(mi)設(she)(she)備(bei)(bei)，其(qi)正常(chang)運行(xing)(xing)需(xu)要良好的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)維護和(he)(he)(he)(he)(he)保(bao)(bao)(bao)養。定(ding)(ding)期對(dui)設(she)(she)備(bei)(bei)進(jin)(jin)行(xing)(xing)清潔、潤滑和(he)(he)(he)(he)(he)緊固等(deng)操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)，確(que)保(bao)(bao)(bao)設(she)(she)備(bei)(bei)處于(yu)好的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)工(gong)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)狀態；定(ding)(ding)期檢查設(she)(she)備(bei)(bei)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)系統和(he)(he)(he)(he)(he)控制系統，確(que)保(bao)(bao)(bao)其(qi)穩(wen)定(ding)(ding)可(ke)(ke)靠；對(dui)易(yi)損件進(jin)(jin)行(xing)(xing)及(ji)(ji)時(shi)更(geng)換，避免設(she)(she)備(bei)(bei)故障對(dui)生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)影響(xiang)。通(tong)(tong)(tong)過(guo)(guo)加強(qiang)設(she)(she)備(bei)(bei)維護和(he)(he)(he)(he)(he)保(bao)(bao)(bao)養，可(ke)(ke)以(yi)延長設(she)(she)備(bei)(bei)使用(yong)(yong)壽命，提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)。　　四(si)、提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)人(ren)員(yuan)(yuan)技(ji)(ji)能(neng)(neng)(neng)(neng)(neng)水(shui)(shui)平　　氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)需(xu)要一(yi)定(ding)(ding)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)專-業(ye)知識和(he)(he)(he)(he)(he)技(ji)(ji)能(neng)(neng)(neng)(neng)(neng)。提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)人(ren)員(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)技(ji)(ji)能(neng)(neng)(neng)(neng)(neng)水(shui)(shui)平，有(you)助于(yu)更(geng)好地掌握設(she)(she)備(bei)(bei)性(xing)能(neng)(neng)(neng)(neng)(neng)和(he)(he)(he)(he)(he)操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)技(ji)(ji)巧(qiao)，從(cong)而(er)提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)。企(qi)業(ye)可(ke)(ke)以(yi)通(tong)(tong)(tong)過(guo)(guo)培訓、實踐和(he)(he)(he)(he)(he)經(jing)驗(yan)交流(liu)等(deng)方(fang)式，提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)人(ren)員(yuan)(yuan)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)技(ji)(ji)能(neng)(neng)(neng)(neng)(neng)水(shui)(shui)平；同時(shi)，建立激(ji)勵機(ji)制，鼓(gu)勵操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)人(ren)員(yuan)(yuan)積(ji)(ji)(ji)(ji)極學(xue)習新技(ji)(ji)術(shu)和(he)(he)(he)(he)(he)新方(fang)法，不斷(duan)提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)自己(ji)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)綜(zong)合(he)素質(zhi)。　　五、引(yin)(yin)入智能(neng)(neng)(neng)(neng)(neng)化(hua)(hua)管(guan)理系統　　隨著信息技(ji)(ji)術(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)不斷(duan)發(fa)展，智能(neng)(neng)(neng)(neng)(neng)化(hua)(hua)管(guan)理系統在(zai)工(gong)業(ye)生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產中的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)應用(yong)(yong)越來越廣(guang)泛。引(yin)(yin)入智能(neng)(neng)(neng)(neng)(neng)化(hua)(hua)管(guan)理系統，可(ke)(ke)以(yi)對(dui)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)進(jin)(jin)行(xing)(xing)實時(shi)監控和(he)(he)(he)(he)(he)數(shu)據(ju)分析(xi)，幫助操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)人(ren)員(yuan)(yuan)及(ji)(ji)時(shi)發(fa)現(xian)和(he)(he)(he)(he)(he)解(jie)決(jue)問題；同時(shi)，通(tong)(tong)(tong)過(guo)(guo)數(shu)據(ju)分析(xi)和(he)(he)(he)(he)(he)優(you)(you)(you)(you)化(hua)(hua)算法，實現(xian)工(gong)藝(yi)參數(shu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)自動(dong)調整和(he)(he)(he)(he)(he)優(you)(you)(you)(you)化(hua)(hua)，提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)和(he)(he)(he)(he)(he)質(zhi)量穩(wen)定(ding)(ding)性(xing)。　　六、實施持(chi)續改(gai)(gai)(gai)進(jin)(jin)策(ce)略(lve)　　生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)升是一(yi)個持(chi)續的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)過(guo)(guo)程(cheng)，需(xu)要不斷(duan)地進(jin)(jin)行(xing)(xing)改(gai)(gai)(gai)進(jin)(jin)和(he)(he)(he)(he)(he)優(you)(you)(you)(you)化(hua)(hua)。企(qi)業(ye)可(ke)(ke)以(yi)建立持(chi)續改(gai)(gai)(gai)進(jin)(jin)機(ji)制，定(ding)(ding)期對(dui)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)進(jin)(jin)行(xing)(xing)評估(gu)和(he)(he)(he)(he)(he)改(gai)(gai)(gai)進(jin)(jin)；鼓(gu)勵員(yuan)(yuan)工(gong)提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)出(chu)改(gai)(gai)(gai)進(jin)(jin)意見和(he)(he)(he)(he)(he)建議(yi)，集思(si)廣(guang)益(yi)，共同推動(dong)生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)升；同時(shi)，關注行(xing)(xing)業(ye)新技(ji)(ji)術(shu)和(he)(he)(he)(he)(he)新方(fang)法的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)發(fa)展動(dong)態，及(ji)(ji)時(shi)引(yin)(yin)進(jin)(jin)和(he)(he)(he)(he)(he)應用(yong)(yong)先進(jin)(jin)技(ji)(ji)術(shu)，保(bao)(bao)(bao)持(chi)競爭優(you)(you)(you)(you)勢。　　綜(zong)上所述(shu)，優(you)(you)(you)(you)化(hua)(hua)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)以(yi)提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)生(sheng)(sheng)(sheng)(sheng)產效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)需(xu)要從(cong)多個方(fang)面入手(shou)。通(tong)(tong)(tong)過(guo)(guo)合(he)理設(she)(she)定(ding)(ding)工(gong)藝(yi)參數(shu)、優(you)(you)(you)(you)化(hua)(hua)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)體(ti)(ti)(ti)結(jie)構(gou)和(he)(he)(he)(he)(he)材料(liao)(liao)(liao)、加強(qiang)設(she)(she)備(bei)(bei)維護和(he)(he)(he)(he)(he)保(bao)(bao)(bao)養、提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)高(gao)(gao)(gao)操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)人(ren)員(yuan)(yuan)技(ji)(ji)能(neng)(neng)(neng)(neng)(neng)水(shui)(shui)平、引(yin)(yin)入智能(neng)(neng)(neng)(neng)(neng)化(hua)(hua)管(guan)理系統以(yi)及(ji)(ji)實施持(chi)續改(gai)(gai)(gai)進(jin)(jin)策(ce)略(lve)等(deng)措(cuo)施的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)綜(zong)合(he)應用(yong)(yong)，可(ke)(ke)以(yi)實現(xian)氣(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)(lu)(lu)操(cao)(cao)(cao)(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)(zuo)效(xiao)(xiao)率(lv)(lv)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)提(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)(ti)升，為企(qi)業(ye)創造更(geng)大(da)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)經(jing)濟(ji)效(xiao)(xiao)益(yi)。

　　真(zhen)空(kong)(kong)燒(shao)結(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)各功(gong)(gong)能介紹 　　真(zhen)空(kong)(kong)燒(shao)結(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)是在真(zhen)空(kong)(kong)環境中(zhong)對(dui)被(bei)加(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)物品進(jin)(jin)行保護(hu)(hu)性(xing)燒(shao)結(jie)(jie)(jie)的(de)(de)爐(lu)(lu)子(zi)(zi)，其(qi)加(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)方(fang)式比較(jiao)多(duo)，如電(dian)(dian)阻加(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)、感應(ying)加(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)、微波加(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)等(deng)。 　　真(zhen)空(kong)(kong)感應(ying)爐(lu)(lu)是利(li)用(yong)感應(ying)加(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)對(dui)被(bei)加(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)物品進(jin)(jin)行保護(hu)(hu)性(xing)燒(shao)結(jie)(jie)(jie)的(de)(de)爐(lu)(lu)子(zi)(zi)，可(ke)分為(wei)工(gong)頻(pin)、中(zhong)頻(pin)、高(gao)頻(pin)等(deng)類(lei)型，可(ke)以歸屬于(yu)真(zhen)空(kong)(kong)燒(shao)結(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)的(de)(de)子(zi)(zi)類(lei)。真(zhen)空(kong)(kong)燒(shao)結(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)是在真(zhen)空(kong)(kong)或保護(hu)(hu)氣(qi)(qi)氛條件下，利(li)用(yong)中(zhong)頻(pin)感應(ying)加(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)的(de)(de)原(yuan)(yuan)理使(shi)(shi)硬質合金(jin)刀頭及各種金(jin)屬粉末壓制(zhi)體(ti)(ti)實現燒(shao)結(jie)(jie)(jie)的(de)(de)成(cheng)(cheng)套(tao)設備(bei)，是為(wei)硬質合金(jin)、金(jin)屬鏑、陶瓷材(cai)料(liao)(liao)的(de)(de)工(gong)業生產(chan)而(er)設計的(de)(de)。 　　一(yi)、主(zhu)(zhu)要(yao)(yao)原(yuan)(yuan)理及用(yong)途 　　真(zhen)空(kong)(kong)燒(shao)結(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)是在抽真(zhen)空(kong)(kong)后充氫(qing)氣(qi)(qi)保護(hu)(hu)狀(zhuang)態下，利(li)用(yong)中(zhong)頻(pin)感應(ying)加(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)的(de)(de)原(yuan)(yuan)理，使(shi)(shi)處于(yu)線圈(quan)內的(de)(de)鎢坩堝(guo)產(chan)生高(gao)溫(wen)，通過熱(re)輻射(she)傳(chuan)導(dao)到工(gong)作上，適用(yong)于(yu)科研(yan)、軍工(gong)單(dan)位。對(dui)難熔(rong)合金(jin)如鎢、鉬及其(qi)合金(jin)的(de)(de)粉末成(cheng)(cheng)型燒(shao)結(jie)(jie)(jie)。 　　二、主(zhu)(zhu)要(yao)(yao)結(jie)(jie)(jie)構(gou)及組成(cheng)(cheng) 　　結(jie)(jie)(jie)構(gou)形(xing)式多(duo)為(wei)立式、下出(chu)料(liao)(liao)方(fang)式。其(qi)主(zhu)(zhu)要(yao)(yao)組成(cheng)(cheng)為(wei)：電(dian)(dian)爐(lu)(lu)本體(ti)(ti)、真(zhen)空(kong)(kong)系(xi)(xi)統、水冷(leng)系(xi)(xi)統、氣(qi)(qi)動系(xi)(xi)統、液壓系(xi)(xi)統、進(jin)(jin)出(chu)料(liao)(liao)機構(gou)、底座(zuo)、工(gong)作臺、感應(ying)加(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)裝置(鎢加(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)體(ti)(ti)及***保溫(wen)材(cai)料(liao)(liao))、進(jin)(jin)電(dian)(dian)裝置、中(zhong)頻(pin)電(dian)(dian)源及電(dian)(dian)氣(qi)(qi)控(kong)制(zhi)系(xi)(xi)統等(deng)。 　　三、主(zhu)(zhu)要(yao)(yao)功(gong)(gong)能 　　在抽真(zhen)空(kong)(kong)后充入氫(qing)氣(qi)(qi)保護(hu)(hu)氣(qi)(qi)體(ti)(ti)，控(kong)制(zhi)真(zhen)空(kong)(kong)燒(shao)結(jie)(jie)(jie)爐(lu)(lu)爐(lu)(lu)內壓力和氣(qi)(qi)氛的(de)(de)燒(shao)結(jie)(jie)(jie)狀(zhuang)態。可(ke)用(yong)光導(dao)纖維紅外輻射(she)溫(wen)度計和鎧裝熱(re)電(dian)(dian)偶連續測溫(wen)(0～2500℃)，并通過智能控(kong)溫(wen)儀與(yu)設定程(cheng)序相比較(jiao)后，選擇(ze)執行狀(zhuang)態反饋給中(zhong)頻(pin)電(dian)(dian)源，自動控(kong)制(zhi)溫(wen)度的(de)(de)高(gao)低及保溫(wen)程(cheng)序。