氣(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)結(jie)構(gou)(gou)及工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)(li)(li)(li)　　氣(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)（Gas Phase Deposition Furnace）是(shi)(shi)一(yi)種(zhong)用(yong)(yong)(yong)于(yu)(yu)材(cai)(cai)料薄膜生長(chang)的(de)(de)(de)(de)實驗設備，常(chang)用(yong)(yong)(yong)于(yu)(yu)半導體(ti)(ti)(ti)(ti)、光電子(zi)、納米科(ke)技等(deng)(deng)領域(yu)。下(xia)(xia)面是(shi)(shi)氣(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)基本結(jie)構(gou)(gou)和(he)工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)(li)(li)(li)的(de)(de)(de)(de)簡(jian)要說明：　　氣(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)結(jie)構(gou)(gou)：　　氣(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)通(tong)常(chang)由以(yi)下(xia)(xia)幾個主要組成部分(fen)構(gou)(gou)成：　　1.反應(ying)(ying)(ying)室(shi)（Reaction Chamber）：用(yong)(yong)(yong)于(yu)(yu)放置(zhi)材(cai)(cai)料襯(chen)(chen)底(di)(di)（Substrate）以(yi)及執行(xing)反應(ying)(ying)(ying)的(de)(de)(de)(de)區(qu)域(yu)。反應(ying)(ying)(ying)室(shi)通(tong)常(chang)是(shi)(shi)一(yi)個密封(feng)的(de)(de)(de)(de)金屬腔(qiang)體(ti)(ti)(ti)(ti)，具(ju)有高溫(wen)抗腐蝕性(xing)能。　　2.加(jia)熱(re)(re)(re)系統(tong)（Heating System）：用(yong)(yong)(yong)于(yu)(yu)提(ti)(ti)供反應(ying)(ying)(ying)室(shi)內(nei)(nei)(nei)的(de)(de)(de)(de)高溫(wen)環(huan)境(jing)。加(jia)熱(re)(re)(re)系統(tong)通(tong)常(chang)采用(yong)(yong)(yong)電阻加(jia)熱(re)(re)(re)或(huo)感應(ying)(ying)(ying)加(jia)熱(re)(re)(re)的(de)(de)(de)(de)方式(shi)，通(tong)過(guo)加(jia)熱(re)(re)(re)元件（比(bi)如加(jia)熱(re)(re)(re)線(xian)圈）提(ti)(ti)供熱(re)(re)(re)源(yuan)。　　3.氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)供應(ying)(ying)(ying)系統(tong)（Gas Supply System）：用(yong)(yong)(yong)于(yu)(yu)控(kong)(kong)制和(he)提(ti)(ti)供反應(ying)(ying)(ying)室(shi)內(nei)(nei)(nei)所需(xu)(xu)的(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)混(hun)合(he)(he)物。氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)供應(ying)(ying)(ying)系統(tong)通(tong)常(chang)包括(kuo)多個氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)進(jin)(jin)(jin)口、流(liu)量控(kong)(kong)制器(qi)和(he)混(hun)合(he)(he)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)等(deng)(deng)。　　4.排氣(qi)(qi)(qi)(qi)系統(tong)（Exhaust System）：用(yong)(yong)(yong)于(yu)(yu)排除反應(ying)(ying)(ying)室(shi)內(nei)(nei)(nei)產(chan)生的(de)(de)(de)(de)廢(fei)氣(qi)(qi)(qi)(qi)和(he)雜質。排氣(qi)(qi)(qi)(qi)系統(tong)通(tong)常(chang)包括(kuo)真(zhen)空(kong)泵和(he)廢(fei)氣(qi)(qi)(qi)(qi)處(chu)理(li)(li)(li)(li)裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)等(deng)(deng)。　　5.控(kong)(kong)制系統(tong)（Control System）：用(yong)(yong)(yong)于(yu)(yu)對爐(lu)(lu)(lu)子(zi)的(de)(de)(de)(de)溫(wen)度、氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)流(liu)量等(deng)(deng)參數(shu)進(jin)(jin)(jin)行(xing)實時監控(kong)(kong)和(he)調(diao)(diao)節。　　氣(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)(li)(li)(li)：　　氣(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)(li)(li)(li)是(shi)(shi)利用(yong)(yong)(yong)熱(re)(re)(re)分(fen)解或(huo)化(hua)(hua)學反應(ying)(ying)(ying)將氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)源(yuan)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)原(yuan)料分(fen)子(zi)在(zai)高溫(wen)環(huan)境(jing)下(xia)(xia)轉化(hua)(hua)為可(ke)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)材(cai)(cai)料薄膜。具(ju)體(ti)(ti)(ti)(ti)步驟如下(xia)(xia)：　　1.襯(chen)(chen)底(di)(di)放置(zhi)：將待生長(chang)的(de)(de)(de)(de)襯(chen)(chen)底(di)(di)放置(zhi)在(zai)反應(ying)(ying)(ying)室(shi)中(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)加(jia)熱(re)(re)(re)區(qu)域(yu)，通(tong)常(chang)通(tong)過(guo)夾持裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)固定(ding)。　　2.加(jia)熱(re)(re)(re)預處(chu)理(li)(li)(li)(li)：加(jia)熱(re)(re)(re)系統(tong)提(ti)(ti)供熱(re)(re)(re)源(yuan)，將反應(ying)(ying)(ying)室(shi)內(nei)(nei)(nei)的(de)(de)(de)(de)溫(wen)度升至(zhi)所需(xu)(xu)的(de)(de)(de)(de)生長(chang)溫(wen)度。此過(guo)程通(tong)常(chang)在(zai)惰性(xing)氣(qi)(qi)(qi)(qi)氛下(xia)(xia)進(jin)(jin)(jin)行(xing)，以(yi)排除氧氣(qi)(qi)(qi)(qi)和(he)其(qi)他雜質。　　3.氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)供應(ying)(ying)(ying)和(he)反應(ying)(ying)(ying)：氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)供應(ying)(ying)(ying)系統(tong)控(kong)(kong)制并提(ti)(ti)供所需(xu)(xu)的(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)混(hun)合(he)(he)物，其(qi)通(tong)過(guo)進(jin)(jin)(jin)入反應(ying)(ying)(ying)室(shi)與襯(chen)(chen)底(di)(di)表(biao)(biao)面發生化(hua)(hua)學反應(ying)(ying)(ying)或(huo)熱(re)(re)(re)分(fen)解，產(chan)生可(ke)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)的(de)(de)(de)(de)物種(zhong)。　　4.材(cai)(cai)料沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)：沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)物種(zhong)在(zai)襯(chen)(chen)底(di)(di)表(biao)(biao)面吸附并形成一(yi)層薄膜。其(qi)形貌、結(jie)構(gou)(gou)和(he)性(xing)質可(ke)通(tong)過(guo)控(kong)(kong)制溫(wen)度、氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)流(liu)量和(he)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)時間等(deng)(deng)參數(shu)來調(diao)(diao)節。　　5.冷卻(que)和(he)取出：完成材(cai)(cai)料沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)后(hou)，可(ke)關閉氣(qi)(qi)(qi)(qi)體(ti)(ti)(ti)(ti)供應(ying)(ying)(ying)和(he)加(jia)熱(re)(re)(re)系統(tong)，讓襯(chen)(chen)底(di)(di)緩慢冷卻(que)。待冷卻(que)至(zhi)安全溫(wen)度后(hou)，可(ke)以(yi)取出生長(chang)的(de)(de)(de)(de)薄膜。　　需(xu)(xu)要注(zhu)意的(de)(de)(de)(de)是(shi)(shi)，具(ju)體(ti)(ti)(ti)(ti)的(de)(de)(de)(de)氣(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)爐(lu)(lu)(lu)工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)(li)(li)(li)會因不(bu)同類(lei)型(xing)的(de)(de)(de)(de)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)方法（如化(hua)(hua)學氣(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)、物理(li)(li)(li)(li)氣(qi)(qi)(qi)(qi)相(xiang)(xiang)(xiang)沉(chen)(chen)(chen)積(ji)(ji)(ji)等(deng)(deng)）和(he)所研究(jiu)的(de)(de)(de)(de)材(cai)(cai)料而(er)有所不(bu)同。上述僅為一(yi)般的(de)(de)(de)(de)工(gong)作(zuo)原(yuan)理(li)(li)(li)(li)示意，實際操(cao)作(zuo)中(zhong)(zhong)需(xu)(xu)根(gen)據(ju)具(ju)體(ti)(ti)(ti)(ti)情況進(jin)(jin)(jin)行(xing)參數(shu)調(diao)(diao)節和(he)設備操(cao)作(zuo)。

　　真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)甩帶(dai)爐(lu)(lu)熱(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)理(li)爐(lu)(lu)特(te)性(xing) 　　真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)甩帶(dai)爐(lu)(lu)熱(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)理(li)爐(lu)(lu)特(te)性(xing)有(you)哪些(xie)呢(ni)?今天八佳小(xiao)編就和大(da)家說說，我們做個(ge)詳(xiang)細的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)了(le)解。 　　(1) 嚴格的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)密(mi)(mi)(mi)封(feng)(feng)： 　　眾所(suo)(suo)周(zhou)知，金(jin)屬零件(jian)(jian)(jian)進行真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)熱(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)理(li)均在(zai)密(mi)(mi)(mi)閉的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)爐(lu)(lu)內進行，因此(ci)(ci)，獲得和維持爐(lu)(lu)子原(yuan)定的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)漏(lou)氣(qi)率，保(bao)(bao)證(zheng)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)爐(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)工(gong)作(zuo)(zuo)(zuo)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)(du)，對(dui)確(que)保(bao)(bao)零件(jian)(jian)(jian)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)熱(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)理(li)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)質量有(you)著非常重(zhong)(zhong)要(yao)(yao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)意義。所(suo)(suo)以(yi)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)甩帶(dai)爐(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)一個(ge)關鍵問題，就是(shi)要(yao)(yao)有(you)可(ke)靠的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)密(mi)(mi)(mi)封(feng)(feng)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)。為(wei)了(le)保(bao)(bao)證(zheng)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)爐(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)性(xing)能(neng)(neng)(neng)，在(zai)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)熱(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)理(li)爐(lu)(lu)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)設計中必須遵循一個(ge)基(ji)本原(yuan)則，就是(shi)爐(lu)(lu)體(ti)要(yao)(yao)采(cai)用(yong)氣(qi)密(mi)(mi)(mi)焊(han)接(jie)，同時(shi)在(zai)爐(lu)(lu)體(ti)上盡(jin)(jin)量少開(kai)或(huo)(huo)者不(bu)(bu)(bu)(bu)開(kai)孔，少采(cai)用(yong)或(huo)(huo)者避免(mian)采(cai)用(yong)動(dong)(dong)(dong)密(mi)(mi)(mi)封(feng)(feng)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)，以(yi)盡(jin)(jin)量減少真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)泄漏(lou)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)機會。安裝(zhuang)(zhuang)在(zai)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)爐(lu)(lu)體(ti)上的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)部(bu)件(jian)(jian)(jian)、附件(jian)(jian)(jian)等(deng)如水冷電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)、熱(re)(re)(re)電(dian)(dian)偶導出裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)也都(dou)必須設計密(mi)(mi)(mi)封(feng)(feng)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)。 　　(2)大(da)部(bu)分加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)(re)與(yu)(yu)(yu)隔熱(re)(re)(re)材(cai)料只能(neng)(neng)(neng)在(zai)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)狀(zhuang)(zhuang)態(tai)(tai)(tai)下(xia)使用(yong)： 　　真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)甩帶(dai)爐(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)(re)與(yu)(yu)(yu)隔熱(re)(re)(re)襯料是(shi)在(zai)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)與(yu)(yu)(yu)高(gao)溫下(xia)工(gong)作(zuo)(zuo)(zuo)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)，因而對(dui)這些(xie)材(cai)料提出了(le)耐高(gao)溫，蒸汽壓低，輻(fu)射效(xiao)果好，導熱(re)(re)(re)系數小(xiao)等(deng)要(yao)(yao)求(qiu)。對(dui)抗(kang)氧(yang)化(hua)(hua)性(xing)能(neng)(neng)(neng)要(yao)(yao)求(qiu)不(bu)(bu)(bu)(bu)高(gao)。所(suo)(suo)以(yi)，真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)熱(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)理(li)爐(lu)(lu)廣泛地采(cai)用(yong)了(le)鉭、鎢、鉬(mu)和石(shi)墨等(deng)作(zuo)(zuo)(zuo)加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)(re)與(yu)(yu)(yu)隔熱(re)(re)(re)構(gou)料。這些(xie)材(cai)料在(zai)大(da)氣(qi)狀(zhuang)(zhuang)態(tai)(tai)(tai)下(xia)極(ji)(ji)(ji)易氧(yang)化(hua)(hua)，因此(ci)(ci)，常規熱(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)理(li)爐(lu)(lu)是(shi)不(bu)(bu)(bu)(bu)能(neng)(neng)(neng)采(cai)用(yong)這些(xie)加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)(re)與(yu)(yu)(yu)隔熱(re)(re)(re)材(cai)料。 　　(3)水冷裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)： 　　真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)甩帶(dai)爐(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)爐(lu)(lu)殼、爐(lu)(lu)蓋、電(dian)(dian)熱(re)(re)(re)元件(jian)(jian)(jian)，分別處(chu)(chu)(chu)置(zhi)(zhi)(水冷電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji))、中間真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)隔熱(re)(re)(re)門等(deng)部(bu)件(jian)(jian)(jian)，均在(zai)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)、受熱(re)(re)(re)狀(zhuang)(zhuang)態(tai)(tai)(tai)下(xia)工(gong)作(zuo)(zuo)(zuo)。在(zai)這種(zhong)極(ji)(ji)(ji)為(wei)不(bu)(bu)(bu)(bu)利的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)條(tiao)件(jian)(jian)(jian)下(xia)工(gong)作(zuo)(zuo)(zuo)，必須保(bao)(bao)證(zheng)各(ge)部(bu)件(jian)(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)不(bu)(bu)(bu)(bu)變形、不(bu)(bu)(bu)(bu)損(sun)壞，真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)密(mi)(mi)(mi)封(feng)(feng)圈不(bu)(bu)(bu)(bu)過熱(re)(re)(re)、不(bu)(bu)(bu)(bu)燒毀。因此(ci)(ci)，各(ge)部(bu)件(jian)(jian)(jian)應該根據不(bu)(bu)(bu)(bu)同的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)情況設置(zhi)(zhi)水冷裝(zhuang)(zhuang)置(zhi)(zhi)，以(yi)保(bao)(bao)證(zheng)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)熱(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)理(li)爐(lu)(lu)能(neng)(neng)(neng)夠正常運(yun)行并有(you)足夠的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)使用(yong)壽命。 　　(4)采(cai)用(yong)低電(dian)(dian)壓大(da)電(dian)(dian)流： 　　在(zai)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)容器內，當真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)度(du)(du)為(wei)幾(ji)托(tuo)一lxlo-1托(tuo)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)范(fan)圍內時(shi)，真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)容器內的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)通電(dian)(dian)導體(ti)在(zai)較(jiao)高(gao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)壓下(xia)，會產生輝光(guang)放(fang)電(dian)(dian)現象(xiang)。在(zai)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)熱(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)理(li)爐(lu)(lu)內，嚴重(zhong)(zhong)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)會產生弧光(guang)放(fang)電(dian)(dian)，燒毀電(dian)(dian)熱(re)(re)(re)元件(jian)(jian)(jian)、隔熱(re)(re)(re)層等(deng)，造(zao)成(cheng)重(zhong)(zhong)大(da)事故和損(sun)失。因此(ci)(ci)，真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)熱(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)理(li)爐(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)電(dian)(dian)熱(re)(re)(re)元件(jian)(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)工(gong)作(zuo)(zuo)(zuo)電(dian)(dian)壓，一般都(dou)不(bu)(bu)(bu)(bu)超過80-100伏(fu)。同時(shi)在(zai)電(dian)(dian)熱(re)(re)(re)元件(jian)(jian)(jian)結(jie)(jie)(jie)(jie)構(gou)設計時(shi)要(yao)(yao)采(cai)取有(you)效(xiao)措施，如盡(jin)(jin)量避免(mian)有(you)***的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)部(bu)件(jian)(jian)(jian)，電(dian)(dian)極(ji)(ji)(ji)間的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)間距(ju)不(bu)(bu)(bu)(bu)能(neng)(neng)(neng)太(tai)小(xiao)窄，以(yi)防止輝光(guang)放(fang)電(dian)(dian)或(huo)(huo)者弧光(guang)放(fang)電(dian)(dian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)發生。 　　(5)自(zi)動(dong)(dong)(dong)化(hua)(hua)程度(du)(du)高(gao)： 　　真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)熔煉爐(lu)(lu)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)自(zi)動(dong)(dong)(dong)化(hua)(hua)程度(du)(du)之所(suo)(suo)以(yi)較(jiao)高(gao)，是(shi)因為(wei)金(jin)屬工(gong)件(jian)(jian)(jian)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)(re)、冷卻等(deng)操(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)，需要(yao)(yao)十(shi)幾(ji)個(ge)甚至(zhi)幾(ji)十(shi)個(ge)動(dong)(dong)(dong)作(zuo)(zuo)(zuo)來完(wan)成(cheng)。這些(xie)動(dong)(dong)(dong)作(zuo)(zuo)(zuo)內在(zai)真(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)(zhen)空(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)(kong)熱(re)(re)(re)處(chu)(chu)(chu)理(li)爐(lu)(lu)內進行，操(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)人員無法接(jie)近(jin)。同時(shi)，有(you)些(xie)動(dong)(dong)(dong)作(zuo)(zuo)(zuo)如加(jia)(jia)(jia)(jia)(jia)熱(re)(re)(re)保(bao)(bao)溫結(jie)(jie)(jie)(jie)束后，金(jin)屬工(gong)件(jian)(jian)(jian)進行淬火工(gong)序須六(liu)個(ge)動(dong)(dong)(dong)作(zuo)(zuo)(zuo)并且要(yao)(yao)在(zai)15秒鐘以(yi)內完(wan)成(cheng)。在(zai)這樣迅速(su)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)條(tiao)件(jian)(jian)(jian)來完(wan)成(cheng)許(xu)多動(dong)(dong)(dong)作(zuo)(zuo)(zuo)，是(shi)很容易造(zao)成(cheng)操(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)人員的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)緊(jin)張而構(gou)成(cheng)誤操(cao)作(zuo)(zuo)(zuo)。因此(ci)(ci)，只有(you)較(jiao)高(gao)的(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)(de)自(zi)動(dong)(dong)(dong)化(hua)(hua)才能(neng)(neng)(neng)準確(que)、及時(shi)按程序協調動(dong)(dong)(dong)。