真空燒結爐冷卻水異常怎么辦
真空燒結爐是可進行真空燒(shao)(shao)結(jie)的(de)的(de)工藝,是半導體專用(yong)設備中一種(zhong)新穎(ying)的(de)工藝裝(zhuang)備,可用(yong)于其他(ta)領(ling)域(yu)內的(de)真空熱處理工藝。當燒(shao)(shao)結(jie)爐出現冷卻水異常怎么(me)辦?
發(fa)現工業爐(lu)(lu)出現異常時,要先確(que)認加熱電源是否已經停止。如果(guo)真(zhen)空燒結(jie)爐(lu)(lu)爐(lu)(lu)外發(fa)生漏(lou)水(shui),冷卻水(shui)量異常時,應立即采(cai)取一些應急措施。如能保(bao)證水(shui)量,繼續(xu)保(bao)持(chi)真(zhen)空;如不能則保(bao)持(chi)原(yuan)狀,確(que)認設備冷卻下來。
如果(guo)冷卻(que)水出現異常時(shi),真空(kong)燒結爐處于停止狀態,則(ze)立刻接通緊急(ji)用冷卻(que)水。在(zai)保持(chi)高溫(wen)時(shi),冷卻(que)水就(jiu)會停止,如果(guo)不(bu)能緊急(ji)送水,水冷電極、換(huan)熱(re)器、真空(kong)室(shi)殼(ke)體及各泵極有(you)可能會被損壞。
因此,在使用高溫熱處理爐、真空速凝爐等此(ci)類(lei)工業爐時,一定要注意冷卻水是否異(yi)常,要時常檢查設(she)(she)備,做好平日的維護,才能延長設(she)(she)備使用(yong)年限。

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