真空燒結爐結構上要滿足哪些要求呢
真空燒(shao)結(jie)爐結(jie)構上要滿足(zu)哪些要求呢(ni)
真空燒結爐是指使(shi)粉末壓坯通過燒(shao)結(jie)獲得所需的物(wu)理、力學性能以及微(wei)觀結(jie)構的專用設備。燒(shao)結(jie)爐用于烘干硅片(pian)上(shang)的漿(jiang)料、去除漿(jiang)料中的有機成分(fen)、完成鋁背場及柵線燒(shao)結(jie)。為了保證粉末壓坯在燒(shao)結(jie)過程中的脫(tuo)蠟(la)(潤滑劑(ji)或成形劑(ji))、還原、合金化、組織轉變等順利進行(xing)，燒(shao)結(jie)時需要對燒(shao)結(jie)溫度、保護氣氛、壓坯傳送(song)方式、加熱和(he)冷卻(que)速(su)度等進行(xing)精(jing)確的控制(zhi)。
因此，真空燒結爐(lu)在結構上(shang)應滿足以下要求：
(1)具有完善的潤滑劑燒除裝置(俗稱脫蠟帶)。
(2)具有氣(qi)密性，即(ji)能隔絕(jue)爐(lu)外空(kong)氣(qi)并(bing)保(bao)證(zheng)爐(lu)內保(bao)護氣(qi)氛(fen)暢通。
(3)爐內(nei)的各段(duan)溫度可控，燒結氣(qi)氛可調。
(4)具有快速(su)冷(leng)卻(que)裝置(zhi)，可將燒結零件快速(su)冷(leng)卻(que)到出爐溫度而(er)不會(hui)氧化。
真空燒結爐使用(yong)的注意事項
(1)當使用氫氣或分解(jie)氨時，要先(xian)通(tong)入氮氣，在(zai)確保爐中的空(kong)氣完全(quan)被排出時，才能通(tong)電升溫，以防止打(da)鳴和爆炸。
(2)對鉬(mu)絲作加熱(re)元件的燒結爐(lu)(lu)，在通電前爐(lu)(lu)體(ti)中應通入保護(hu)氣(qi)體(ti)，以(yi)防止鉬(mu)絲氧化而(er)脆(cui)斷(duan)。
(3)真空燒結爐(lu)爐(lu)門及氣體排出(chu)口(kou)應點(dian)明(ming)火燒除(chu)，以防止氧氣進(jin)入或氫(qing)氣排出(chu)而發生爆炸危險(xian)和煤氣中毒危險(xian)。
(4)若電熱元件(jian)為鐵鉻鋁(lv)電阻(zu)絲(si)，在(zai)升溫至1100℃時應停留一段(duan)時間(jian)(30min左右(you))再升溫，以防止電阻(zu)絲(si)表面溫度(du)過高而損(sun)壞。
(5)在升(sheng)溫前和(he)操作中應不時檢查氣流(liu)、水(shui)流(liu)是否(fou)(fou)符合要(yao)求(qiu)，以及檢查設備(bei)、電和(he)爐溫的控制儀表是否(fou)(fou)正常。
(6)停(ting)爐前應先斷電，在爐溫降(jiang)到(dao)200℃以下時再停(ting)氣和停(ting)水(shui)。
(7)除(chu)了因維修要停真空燒(shao)結爐(lu)(lu)爐(lu)(lu)外，要避(bi)免頻(pin)繁(fan)停爐(lu)(lu)。燒(shao)結爐(lu)(lu)的頻(pin)繁(fan)開停，會(hui)造成加熱元件(jian)易(yi)于(yu)老化(hua)，耐(nai)火材(cai)料易(yi)于(yu)碎(sui)裂，爐(lu)(lu)內氣氛(fen)不純，爐(lu)(lu)溫(wen)容易(yi)波動(dong)等弊(bi)端(duan)。
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