使用氣相沉積爐時需要特別注意哪些事項
使用氣相沉積爐時需要(yao)特別注(zhu)意哪些事項
使用氣相沉積爐時需要特別注意以下(xia)幾點。大(da)家(jia)一起看看吧。
1、模具(ju)(ju)一般由(you)用(yong)戶(hu)自備,模具(ju)(ju)材(cai)料基本采用(yong)高(gao)純石墨,其耐壓極(ji)限為40MPa。建議用(yong)戶(hu)在(zai)30MPa以下使用(yong),加壓前計算模具(ju)(ju)上(shang)、下沖頭面積,換算成壓力(li)。具(ju)(ju)體公式如下:系統(tong)允(yun)許加壓(噸)=上(shang)或(huo)下沖頭面積30MPa
2、熱電偶為(wei)鎢錸型,使用后(hou)變脆(cui),不能接觸。破損時(shi)請立即更(geng)換。其型號(hao)為(wei)W2型。

3、冬季要注意氣相沉積爐(lu)循環水(shui)的保溫問題。否則容易發(fa)生自(zi)來(lai)水(shui)管破(po)裂(lie)。
4、使用后(hou)爐體應保持真空(kong),爐內(nei)保溫(wen)層(ceng)容易受潮(chao),保持真空(kong)下次抽真空(kong)會更(geng)快。
5、設備復雜,建(jian)議專人使用(yong),專人負責,嚴格對初學者(zhe)進行使用(yong)前(qian)培訓,有使用(yong)后檢(jian)查、操(cao)作使用(yong)記錄等設備使用(yong)規(gui)定。
6、氣相沉(chen)積爐(lu)(lu)(lu)也可作為(wei)真(zhen)空燒(shao)結爐(lu)(lu)(lu)使用。用于(yu)真(zhen)空燒(shao)結爐(lu)(lu)(lu)時,請注意在爐(lu)(lu)(lu)內放置坩堝后,合(he)上保溫板蓋(gai)后,不要(yao)忘記合(he)上其中的小蓋(gai)。容易(yi)燒(shao)毀(hui)電爐(lu)(lu)(lu)。
7、操作前觀察(cha)窗玻璃清潔,清掃爐內壁,觀察(cha)水(shui)壓情況,觀察(cha)爐內石墨(mo)有無(wu)損傷,開機后觀察(cha)儀表顯(xian)示是否正(zheng)(zheng)常,測試液壓系(xi)統是否正(zheng)(zheng)常工(gong)作。
8、氣相沉(chen)積爐使用一(yi)年后(hou),應將儀器(qi)送(song)計(ji)量部門校準。
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