氣相沉積爐日常使用方法有哪些呢
氣相沉(chen)積(ji)爐日常使用(yong)方(fang)法(fa)有哪些呢(ni)
氣相沉積爐主要用于半(ban)導體元(yuan)器(qi)件及電力整流裝置的燒(shao)(shao)結(jie)工藝,可進行真(zhen)空燒(shao)(shao)結(jie)、氣體保護(hu)燒(shao)(shao)結(jie)及常規燒(shao)(shao)結(jie),是(shi)半(ban)導體專用設備系列中新穎的技(ji)術裝備,設計思路新穎,操作方便,結(jie)構緊湊,一臺設備即可完成多(duo)個(ge)工藝流程。也可用于其(qi)他領域的真(zhen)空熱處理、真(zhen)空釬(han)焊(han)等工藝,那么下面一起了解下爐子的使(shi)用必(bi)備技(ji)巧吧(ba)!
氣相沉積爐在(zai)抽(chou)真空(kong)后氫氣保護(hu)的情況(kuang)下,利用(yong)(yong)中頻(pin)感應加熱原(yuan)理,使位于盤管內的鎢坩堝達到高溫,通過熱輻射傳導到工作(zuo)中,適(shi)用(yong)(yong)于科研、軍工部門對鎢、鉬及其(qi)合(he)金粉(fen)末進行成型燒結。安裝爐子的場地應符合(he)真空(kong)衛生要求,周圍空(kong)氣清潔干燥,通風條件好,工作(zuo)場所不易揚起(qi)灰塵等(deng)。它的日常使用(yong)(yong)方法:

1、檢查(cha)控(kong)制柜內所有零部件(jian)及部件(jian)是否完(wan)好、完(wan)好。
2、控制柜安裝固定在相應(ying)的基礎(chu)上。
3、查看接(jie)線(xian)圖,參考電路圖,連接(jie)外接(jie)主回路和控(kong)制回路,可靠(kao)接(jie)地(di),保證(zheng)接(jie)線(xian)無誤。
4、檢(jian)查電器活動(dong)部(bu)位(wei)活動(dong)自如,無卡死(si)現象。
5、絕緣電阻(zu)不應小(xiao)于2萬億歐姆。
6、氣相沉積爐各閥門必須在關閉位(wei)置。
7、控制電源開關置于斷開位置。
8、手動(dong)(dong)調(diao)壓(ya)旋鈕逆時針轉動(dong)(dong)頭。
9、將(jiang)報警按鈕置(zhi)于打開位置(zhi)。
10、平面圖完成設備(bei)循環(huan)冷卻水連接時(shi),建(jian)議用(yong)戶在氣相沉積爐總(zong)進出水管(guan)處再加一層(ceng)備(bei)用(yong)水(可(ke)用(yong)自來水),防止循環(huan)水故障(zhang)或斷電(dian)引起密封(feng)圈燃燒。
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