氣相沉積爐設備特點是什么
氣相沉積爐設備特(te)點是什么
氣相沉積爐適(shi)用于化學氣(qi)相(xiang)沉積法制備碳-碳復合(he)材料(liao),也可用于以碳氫氣(qi)體(ti)(如C3H8等)為(wei)碳源的材料(liao)表面(mian)或(huo)(huo)基體(ti)等溫CVD/CVI處理,或(huo)(huo)以三氯甲硅(gui)烷(MTS)為(wei)氣(qi)源的材材料(liao)料(liao)表面(mian)抗氧化涂層、基體(ti)改性等。

裝(zhuang)(zhuang)料(liao)(liao)方(fang)式有上裝(zhuang)(zhuang)料(liao)(liao)、底(di)裝(zhuang)(zhuang)料(liao)(liao)、臥(wo)式三(san)種裝(zhuang)(zhuang)料(liao)(liao)方(fang)式。該氣相(xiang)沉積爐設備特點如(ru)下:
1.多通道沉(chen)積(ji)氣路,流場(chang)均勻,無沉(chen)積(ji)死(si)角,沉(chen)積(ji)效(xiao)果好;
2.采用先進(jin)的控(kong)制技術,能(neng)精密控(kong)制MTS的流量和壓力,爐膛內沉積氣流穩(wen)定,壓力波動(dong)范(fan)圍小;
3.氣(qi)相沉積爐設備自動化高,關鍵執行(xing)電氣(qi)件采用(yong)進口;操作直觀、簡便,觸摸屏經(jing)過開(kai)發,可(ke)動態顯(xian)示爐子(zi)運(yun)行(xing)狀況(kuang)并具有自我(wo)診斷功能(neng),程序段可(ke)直接輸(shu)入(ru)。
4.采用特殊(shu)結構沉積(ji)室,密封效果好,抗污染(ran)能力強。
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