產(chan)品概述

該設備主要用于多晶硅前(qian)處理工序，在(zai)高溫真(zhen)空(kong)環境下，對石墨(mo)電極、石墨(mo)基座、石墨(mo)卡瓣(ban)等進行煅燒(shao)，使石墨(mo)部件經酸洗、高溫烘干后仍殘余的水氣和氯化鹽等經高溫真(zhen)空(kong)煅燒(shao)后排(pai)出爐外，實現提供高純(chun)潔凈石墨(mo)部件的目的。

性能(neng)特點

1.裝出料方式：頂部裝出料、底部裝出料。

2.工作方式(shi)(shi)為周期作業(ye)式(shi)(shi)；可對石(shi)墨(mo)、陶瓷等材料在高(gao)溫(wen)(wen)、高(gao)真空條件下進行煅(duan)燒處(chu)理，也可在充入保護氣氛情況下煅(duan)燒；設備發(fa)熱(re)體采用(yong)高(gao)純石(shi)墨(mo)碳棒，保溫(wen)(wen)層采用(yong)復合型(xing)石(shi)墨(mo)碳氈，在使用(yong)過程(cheng)中揮(hui)發(fa)量少，壽命長、隔熱(re)性好。

3.設備占地小，生產效率高，平均能(neng)耗低。

4.采用觸摸屏、PLC控制(zhi)，配(pei)合儀表及傳感器可實(shi)現全自動(dong)運行（保留(liu)手動(dong)模式），可實(shi)時監(jian)控。

5.設有多重安全(quan)防(fang)護措施，通(tong)過溫度、壓力(li)計(ji)、安全(quan)閥等裝置和連鎖(suo)保(bao)護程(cheng)(cheng)序，使設備具備在發(fa)生(sheng)超(chao)溫、超(chao)壓、冷卻(que)水欠壓、過流、短(duan)路等故障時能夠及(ji)時發(fa)出(chu)聲光報(bao)警，并(bing)自動啟動保(bao)護程(cheng)(cheng)序，保(bao)障設備和人員安全(quan)。

性能(neng)參(can)數